半導(dǎo)體車(chē)間廢氣處理設(shè)備選擇標(biāo)準(zhǔn)：

　　(1)半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間廢氣處理設(shè)備的選擇是根據(jù)待消除氣體的種類(lèi)、濃度、流量和壓力，減排設(shè)備的處理能力，綜合考慮農(nóng)藥的壽命、前后與設(shè)備的關(guān)系等多種情況，挑選合適的處理方法和設(shè)備。

　　(2)半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間廢氣處理設(shè)備在混合時(shí)將會(huì)爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應(yīng)該是一個(gè)***立的系統(tǒng)。

　　(3)可能有自燃性氣體或可燃?xì)怏w流動(dòng)的排風(fēng)管道采用不燃材料。

　　(4)不可以讓半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間廢氣處理設(shè)備規(guī)格中規(guī)定的廢氣以外的廢氣流動(dòng)，或準(zhǔn)許***量廢氣流動(dòng)超出廢氣處理設(shè)備的處理水平。